A porlasztási eljárás során egy forrásanyagot, az úgynevezett céltárgyat elpárologtatnak, hogy egy vékony, nagy teljesítményű filmréteget képezzenek olyan termékeken, mint a félvezetők, üveg és kijelzők. A céltárgy összetétele közvetlenül meghatározza a bevonat tulajdonságait, ezért az anyagválasztás kritikus fontosságú.
Széles körű fémeket használnak, mindegyiket meghatározott funkcionális előnyök alapján választják ki:
Elektronikai alapfémek és közbenső rétegek
A nagy tisztaságú rezet kivételes elektromos vezetőképessége miatt nagyra becsülik. A 99,9995%-os tisztaságú rézből készült célanyagok elengedhetetlenek a fejlett mikrochipekben található mikroszkopikus vezetékek (összekötők) létrehozásához, ahol a minimális elektromos ellenállás elengedhetetlen a sebesség és a hatékonyság szempontjából.
A nagy tisztaságú nikkel sokoldalúan felhasználható eszköz. Elsősorban kiváló tapadórétegként és megbízható diffúziós gátként használják, megakadályozva a különböző anyagok keveredését, és biztosítva a többrétegű eszközök szerkezeti integritását és hosszú élettartamát.
A tűzálló fémek, mint például a volfrám (W) és a molibdén (Mo), nagy hőállóságuk és stabilitásuk miatt értékesek, gyakran használják őket robusztus diffúziós gátakként és érintkezőkhöz igényes környezetben.
Specializált funkcionális fémek
A nagy tisztaságú ezüst rendelkezik a legmagasabb elektromos és hővezető képességgel az összes fém közül. Ez ideálissá teszi nagy vezetőképességű, átlátszó elektródák érintőképernyőkbe, valamint ragyogóan fényvisszaverő, alacsony emissziós bevonatokba energiatakarékos ablakokon.
Az olyan nemesfémeket, mint az arany (Au) és a platina (Pt), nagy megbízhatóságú, korrózióálló elektromos érintkezőkhöz és speciális érzékelőkhöz használják.
Az átmeneti fémek, mint például a titán (Ti) és a tantál (Ta), kiváló tapadási és záró tulajdonságaik miatt kulcsfontosságúak, gyakran alapozó réteget képeznek az aljzaton, mielőtt más anyagokat felvinnének rá.
Bár ez a sokszínű anyagkészlet lehetővé teszi a modern technológia alkalmazását, a réz vezetőképessége, a nikkel megbízhatósága és az ezüst kiváló fényvisszaverő képessége továbbra is páratlan az adott alkalmazásokban. Ezen nagy tisztaságú fémek állandó minősége a nagy teljesítményű vékonyréteg-bevonatok alapja.
Közzététel ideje: 2025. november 24.